兴业证券研报表示 ，光刻工艺是集成电路制造的关键步骤 ，光刻机是半导体工业皇冠上的明珠 。全球晶圆厂设备开支保持强劲，光刻机需求持续提升 。光刻机作为芯片制造光刻环节的核心设备 ，目前全球前道光刻机被ASML 、尼康 、佳能垄断 ，实现光刻机的国产替代势在必行，具有重大战略意义。建议持续关注光刻机产业链相关零部件上市公司 。
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